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真空管式炉三个真空系统的差异
点击次数:200 发布时间:2018-12-13
   真空管式炉的独特设计能够实现在真空保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要。
  由于真空管式炉的种类是比较多的,并且每个对真空管式炉的真空系统要求都是不一样的,所以咱们就真空度而言,有低真空,中真空,高真空三个系统。下面来详细说下这三个真空系统的差异。
  1、低真空系统
  真空管式炉的低真空系统适用于规划的真空管式炉,如预抽低真空井式炉,大多以油封式旋转机械泵为主泵。
  2、中真空系统
  中真空系统适用于真空度在规划的真空管式炉,中真空系统在真空管式炉的运用中是比较广泛的,一般由两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵,主泵为机械增压泵或油增压泵。
  3、高真空系统
  高真空系统一般由三级真空泵机组组成,主泵一般选用油涣散泵,离子泵,初级泵大都也是选用旋转机械或滑阀式机械泵。真空管式炉的真空系统咱们是否有所了解呢?咱们可以做个参看,然后依据自己的需求来挑选合适的真空系统。
  真空管式炉主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。
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